半导体/芯片面试题更新 2026-08-05

PVD过程中的磁控溅射通常使用哪些工作气体,分别起什么作用?

长鑫存储半导体/芯片电子/半导体业务理解技术原理

考察说明

考察磁控溅射工艺中工作气体的选择及功能理解

回答思路

  1. 明确常用惰性气体如氩气作为溅射气体
  2. 说明反应溅射时添加反应气体如氮气、氧气的作用
  3. 能解释气体纯度对薄膜质量的影响
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