半导体/芯片面试题更新 2026-08-05

磁控溅射的工作功率(如溅射功率)一般如何确定,功率大小对薄膜沉积有什么影响?

长鑫存储半导体/芯片电子/半导体技术原理方案权衡

考察说明

考察溅射功率参数设定逻辑及其对沉积过程和薄膜性能的影响

回答思路

  1. 能说明功率影响溅射速率和靶材离化率
  2. 指出功率过高可能导致靶材过热或薄膜缺陷
  3. 能结合具体材料或工艺讨论功率选择依据
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