要达到微米级的表面加工精度，通常可以采用哪些工艺？请说明特点与适用范围。

回答思路

1. 能列出多种可达到微米级精度的工艺，如精密磨削、研磨、抛光、超精密车削
2. 能说明各工艺的典型精度范围及适用材料与形状
3. 能结合精度、成本、效率与生产批量进行工艺选型比较
4. 能提及设备刚性和环境温控等影响精度的关键因素