北京经纬恒润科技股份有限公司面试题更新 2026-08-05
为什么光刻机不通过直接提升放大倍率来提高光刻精度，而是采用更高折射率的材料或更短波长的光源？
北京经纬恒润科技股份有限公司电子/硬件开发专业服务技术原理方案权衡
考察说明
考察对光刻分辨率物理原理的理解及技术演进逻辑
回答思路
- 解释分辨率公式（如瑞利判据）中波长、数值孔径与分辨率的关系
- 说明放大倍率只影响图形尺寸，不改变光学系统极限分辨率
- 分析提高折射率或缩短波长对数值孔径和分辨率的实际作用
- 提及光源波长演进（如DUV到EUV）及其物理与工程约束
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